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    LED显微曝光系统$n显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。$n使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。$nPattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。$n可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以降低研发成本。

    更新时间

    2024-01-29

    厂商性质

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