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LED显微曝光系统

LED显微曝光系统
显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以降低研发成本。

  • 产品型号:详询
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-01-29
  • 访  问  量:192
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详细介绍
品牌其他品牌应用领域化工,电子,综合

LED显微曝光系统

介绍:

1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。

2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。

3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。

4)可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以降低研发成本。

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LED显微曝光系统

使用案例:

√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。

√Mo 原石取出薄片,形成原石特性评估的电极。

图片7.png


特色:

1、使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统,可比既有系统拥有更具性价比。

2、软件操作简便,可以自由绘制曝光Pattern。

3、透过物镜倍率选择,调整曝光范围大小与分辨率。

4、可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。

图片8.jpg



 

 
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